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    Fluid Flow

    계측제어

    고온 Chemical 전용의 유량계측 장비 및 반도체 약액사용 공정의 공급, 토출감시 및 제어용 시스템, 사용량 적산 및 관리 시스템 등 다양한 공정에 적용하고 있는 초정밀 유량계측제어 시스템입니다.
    고난이도의 기술을 바탕으로 계측제어자동화 분야의 제품제조 및 시스템 개발에 기술력을 확대해 나가고 있으며, 대표적으로 반도체 장치의 초정밀 유량 계측제어 시스템을 제조하고 있습니다.

    • 약액사용 공정 ( 공급 또는 토출 감시 및 제어 )

    • 설비 개조개선

    • 신소재

    • 반도체(FPD) 제조장치

    • Chemical Flow Sensor
      유체 통과 시 WHEEL이 회전하여 유속에 비례한 Pulse Signal을 출력하므로, Pulse Flow Input Type의 Flow Monitor(Flow Rate, Total, Acc. Total 등의 지시장치)나 Batch Controller(정량 공급장치), Dispense Controller(정량 토출제어기) 등에 접속하여, 유량의 계측 또는 제어 목적으로 사용할 수 있습니다. High Temperature Chemical Flow Sensor & Flow Monitor
    • Flow Controller & Flow Monitor
      각 공정 설비별 적합한 다양한 제품을 보유하고 있으며, 기본형부터 다채널,
      복수채널을 비롯 각각의 감시모드와 제어모드를 선택 사용하여 대량 및 장기
      Data저장기능 설정이 가능하고 실시간 중앙감시와 원격제어 시스템 구축도
      적용이 가능합니다.